Iluminare Coaxiala
Iluminarea coaxiala este iluminarea ce se suprapune pe axul opticii microscopului. Microscopele cu o astfel de tehnologie au o sursa de iluminare (LED) laterala ce directioneaza fluxul luminos intr-o oglinda speciala plasata pe axul de observatie (axul optic). Aceasta oglinda este una ce permite captarea imaginii prin transparenta sa unidirectionala: Printre utilizarile cele mai frecvente ale microscopiei in lumina coaxiala se numara: analiza microscopica semiconductorilor, analiza microscopica multistrat a placilor de integrate (chip-uri/wafer-e), verificarea microzgarieturilor pe suprafetele lucioase sau transparente, inspectia gradului de lustruire/polish-are, verificarea suprafetelor tratate sau acoperite chimic.
Vezi aici cateva microscoape cu iluminare coaxiala
